पाण्याच्या वाफेचे विशिष्ट प्रमाण हे सहसा विशिष्ट खंड साठी क्यूबिक मीटर प्रति किलोग्रॅम[m³/kg] वापरून मोजले जाते. क्यूबिक सेंटीमीटर प्रति ग्रॅम[m³/kg], लिटर / किलोग्रॅम[m³/kg], लिटर / ग्रॅम[m³/kg] ही काही इतर एकके आहेत ज्यात पाण्याच्या वाफेचे विशिष्ट प्रमाण मोजले जाऊ शकतात.