ऑक्साईडची जाडी म्हणजे ऑक्साईड सामग्रीच्या पातळ थराची जाडी, जी सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर तयार होते, विशेषत: सिलिकॉन सारखी अर्धसंवाहक सामग्री. आणि tox द्वारे दर्शविले जाते. ऑक्साईड जाडी हे सहसा लांबी साठी मायक्रोमीटर वापरून मोजले जाते. लक्षात ठेवा की ऑक्साईड जाडी चे मूल्य नेहमी नकारात्मक असते.