ऑक्साइड कॅपेसिटन्स हा एक महत्त्वाचा पॅरामीटर आहे जो एमओएस उपकरणांच्या कार्यक्षमतेवर परिणाम करतो, जसे की एकात्मिक सर्किट्सचा वेग आणि वीज वापर. आणि Cox द्वारे दर्शविले जाते. ऑक्साइड कॅपेसिटन्स हे सहसा क्षमता साठी मायक्रोफरॅड वापरून मोजले जाते. लक्षात ठेवा की ऑक्साइड कॅपेसिटन्स चे मूल्य नेहमी सकारात्मक असते.