Carica dello strato di inversione viene solitamente misurato utilizzando Coulomb per metro quadrato[C/m²] per Densità di carica superficiale. Coulomb per centimetro quadrato[C/m²], Coulomb per pollice quadrato[C/m²], Abcoulomb per metro quadrato[C/m²] sono le poche altre unità in cui è possibile misurare Carica dello strato di inversione.