Capacità parassita della sorgente viene solitamente misurato utilizzando Microfarad per millimetro quadrato[μF/mm²] per Capacità di ossido per area unitaria. Farad per metro quadrato[μF/mm²], Nanofarad per centimetro quadrato[μF/mm²], Microfarad per centimetro quadrato[μF/mm²] sono le poche altre unità in cui è possibile misurare Capacità parassita della sorgente.