Capacità di ossido per unità di area viene solitamente misurato utilizzando Microfarad per centimetro quadrato[μF/cm²] per Capacità di ossido per area unitaria. Farad per metro quadrato[μF/cm²], Nanofarad per centimetro quadrato[μF/cm²], Microfarad per millimetro quadrato[μF/cm²] sono le poche altre unità in cui è possibile misurare Capacità di ossido per unità di area.