La capacità di ossido si riferisce alla capacità associata allo strato di ossido isolante in una struttura a semiconduttore a ossido di metallo (MOS), come nei MOSFET. Ed è indicato da Cox. Capacità dell'ossido viene solitamente misurato utilizzando Farad per Capacità. Tieni presente che il valore di Capacità dell'ossido è sempre positivo.