Capacità dell'ossido viene solitamente misurato utilizzando Farad per metro quadrato[F/m²] per Capacità di ossido per area unitaria. Nanofarad per centimetro quadrato[F/m²], Microfarad per centimetro quadrato[F/m²], Microfarad per millimetro quadrato[F/m²] sono le poche altre unità in cui è possibile misurare Capacità dell'ossido.