स्रोत वीएलएसआई के साथ पीएन जंक्शन कमी गहराई मूल्यांकनकर्ता स्रोत के साथ पीएन जंक्शन कमी गहराई, स्रोत वीएलएसआई सूत्र के साथ पीएन जंक्शन रिक्तीकरण गहराई को पीएन जंक्शन के आसपास के क्षेत्र के रूप में परिभाषित किया गया है जहां विद्युत क्षेत्र के गठन के कारण चार्ज वाहक समाप्त हो गए हैं। का मूल्यांकन करने के लिए P-n Junction Depletion Depth with Source = sqrt((2*[Permitivity-silicon]*[Permitivity-vacuum]*जंक्शन अंतर्निर्मित वोल्टेज)/([Charge-e]*स्वीकर्ता एकाग्रता)) का उपयोग करता है। स्रोत के साथ पीएन जंक्शन कमी गहराई को xdS प्रतीक द्वारा दर्शाया जाता है।
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