सब्सट्रेट कैपेसिटेंस, जिसे परजीवी सब्सट्रेट कैपेसिटेंस के रूप में भी जाना जाता है, एक एकीकृत सर्किट में प्रवाहकीय तत्वों के बीच मौजूद कैपेसिटेंस को संदर्भित करता है। और इसे Cs द्वारा दर्शाया जाता है. सब्सट्रेट कैपेसिटेंस को आम तौर पर समाई के लिए फैरड का उपयोग करके मापा जाता है। ध्यान दें कि सब्सट्रेट कैपेसिटेंस का मान हमेशा नकारात्मक होता है।