वाष्प की विशिष्ट ऊष्मा को आम तौर पर विशिष्ट गर्मी की क्षमता के लिए जूल प्रति किलोग्राम प्रति किलो[J/(kg*K)] का उपयोग करके मापा जाता है। जूल प्रति किलोग्राम प्रति सेल्सियस[J/(kg*K)], किलोजूल प्रति किलोग्राम प्रति किलो[J/(kg*K)], किलोजूल प्रति किलोग्राम प्रति सेल्सियस[J/(kg*K)] कुछ अन्य इकाइयाँ हैं जिनमें वाष्प की विशिष्ट ऊष्मा को मापा जा सकता है।