{श्रेणी} सूत्रों में महत्वपूर्ण आयाम

सेमीकंडक्टर निर्माण में महत्वपूर्ण आयाम किसी दिए गए प्रक्रिया में सबसे छोटे फीचर आकार या सबसे छोटे मापने योग्य आकार को संदर्भित करता है। और इसे CD द्वारा दर्शाया जाता है. महत्वपूर्ण आयाम को आम तौर पर लंबाई के लिए नैनोमीटर का उपयोग करके मापा जाता है। ध्यान दें कि महत्वपूर्ण आयाम का मान हमेशा सकारात्मक होता है।