{श्रेणी} सूत्रों में फोटोलिथोग्राफी में तरंग दैर्ध्य

फोटोलिथोग्राफी में तरंग दैर्ध्य अर्धचालक निर्माण प्रक्रिया के दौरान पैटर्न अर्धचालक वेफर्स के लिए नियोजित विद्युत चुम्बकीय विकिरण की विशिष्ट श्रेणी को संदर्भित करता है। और इसे λ_l द्वारा दर्शाया जाता है. फोटोलिथोग्राफी में तरंग दैर्ध्य को आम तौर पर वेवलेंथ के लिए नैनोमीटर का उपयोग करके मापा जाता है। ध्यान दें कि फोटोलिथोग्राफी में तरंग दैर्ध्य का मान हमेशा सकारात्मक होता है।