जल वाष्प की विशिष्ट मात्रा को आम तौर पर विशिष्ट आयतन के लिए घन मीटर प्रति किलोग्राम[m³/kg] का उपयोग करके मापा जाता है। घन सेंटीमीटर प्रति ग्राम[m³/kg], लीटर/किलोग्राम[m³/kg], लीटर/ग्राम[m³/kg] कुछ अन्य इकाइयाँ हैं जिनमें जल वाष्प की विशिष्ट मात्रा को मापा जा सकता है।