गेट ऑक्साइड परत की धारिता को आम तौर पर ऑक्साइड कैपेसिटेंस प्रति यूनिट क्षेत्र के लिए माइक्रोफ़ारड प्रति वर्ग मिलीमीटर[μF/mm²] का उपयोग करके मापा जाता है। फैराड प्रति वर्ग मीटर[μF/mm²], नैनोफराड प्रति वर्ग सेंटीमीटर[μF/mm²], माइक्रोफ़ारड प्रति वर्ग सेंटीमीटर[μF/mm²] कुछ अन्य इकाइयाँ हैं जिनमें गेट ऑक्साइड परत की धारिता को मापा जा सकता है।