ऑक्साइड परत की पारगम्यता को आम तौर पर परावैद्युतांक के लिए माइक्रोफ़ारड प्रति मिलीमीटर[μF/mm] का उपयोग करके मापा जाता है। फैराड प्रति मीटर[μF/mm], माइक्रोफ़ारड प्रति मीटर[μF/mm] कुछ अन्य इकाइयाँ हैं जिनमें ऑक्साइड परत की पारगम्यता को मापा जा सकता है।