ऑक्साइड धारिता को आम तौर पर ऑक्साइड कैपेसिटेंस प्रति यूनिट क्षेत्र के लिए फैराड प्रति वर्ग मीटर[F/m²] का उपयोग करके मापा जाता है। नैनोफराड प्रति वर्ग सेंटीमीटर[F/m²], माइक्रोफ़ारड प्रति वर्ग सेंटीमीटर[F/m²], माइक्रोफ़ारड प्रति वर्ग मिलीमीटर[F/m²] कुछ अन्य इकाइयाँ हैं जिनमें ऑक्साइड धारिता को मापा जा सकता है।