ऑक्साइड कैपेसिटेंस एक महत्वपूर्ण पैरामीटर है जो एमओएस उपकरणों के प्रदर्शन को प्रभावित करता है, जैसे एकीकृत सर्किट की गति और बिजली की खपत। और इसे Cox द्वारा दर्शाया जाता है. ऑक्साइड धारिता को आम तौर पर समाई के लिए माइक्रोफ़ारड का उपयोग करके मापा जाता है। ध्यान दें कि ऑक्साइड धारिता का मान हमेशा सकारात्मक होता है।