ऑक्साइड की मोटाई ऑक्साइड सामग्री की एक पतली परत की मोटाई को संदर्भित करती है जो एक सब्सट्रेट की सतह पर बनती है, आमतौर पर सिलिकॉन जैसी अर्धचालक सामग्री। और इसे tox द्वारा दर्शाया जाता है. ऑक्साइड की मोटाई को आम तौर पर लंबाई के लिए माइक्रोमीटर का उपयोग करके मापा जाता है। ध्यान दें कि ऑक्साइड की मोटाई का मान हमेशा नकारात्मक होता है।