ऑक्साइड कैपेसिटेंस एक महत्वपूर्ण पैरामीटर है जो एमओएस उपकरणों के प्रदर्शन को प्रभावित करता है, जैसे एकीकृत सर्किट की गति और बिजली की खपत। और इसे Cox द्वारा दर्शाया जाता है. ऑक्साइड क्षमता को आम तौर पर समाई के लिए माइक्रोफ़ारड का उपयोग करके मापा जाता है। ध्यान दें कि ऑक्साइड क्षमता का मान हमेशा नकारात्मक होता है।