उलटा परत प्रभार को आम तौर पर सतह चार्ज घनत्व के लिए कूलम्ब प्रति वर्ग मीटर[C/m²] का उपयोग करके मापा जाता है। कूलम्ब प्रति वर्ग सेंटीमीटर[C/m²], कूलम्ब प्रति वर्ग इंच[C/m²], एबकूलम्ब प्रति वर्ग मीटर[C/m²] कुछ अन्य इकाइयाँ हैं जिनमें उलटा परत प्रभार को मापा जा सकता है।