वर्तमान चरण में आंतरिक वृद्धि विलंब, वृद्धि विलंब का वह हिस्सा है जो सर्किट में अंतर्निहित है और लोडिंग जैसे बाहरी कारकों से प्रभावित नहीं होता है। और इसे tir द्वारा दर्शाया जाता है. आंतरिक वृद्धि विलंब को आम तौर पर समय के लिए नैनोसेकंड का उपयोग करके मापा जाता है। ध्यान दें कि आंतरिक वृद्धि विलंब का मान हमेशा सकारात्मक होता है।