Profondeur de jonction après mise à l'échelle complète dans Fabrication VLSI Formules

La profondeur de jonction après mise à l’échelle complète est définie comme la distance entre la surface et le point où un changement dans la concentration d’atomes dopants se produit après la mise à l’échelle complète. Et est désigné par x_j'. Profondeur de jonction après mise à l'échelle complète est généralement mesuré à l'aide du Micromètre pour Longueur. Notez que la valeur de Profondeur de jonction après mise à l'échelle complète est toujours positif.