Charge de couche d'inversion est généralement mesuré à l'aide de Coulomb au mètre carré[C/m²] pour Densité de charge de surface. Coulomb par centimètre carré[C/m²], Coulomb par pouce carré[C/m²], Abcoulomb au mètre carré[C/m²] sont les quelques autres unités dans lesquelles Charge de couche d'inversion peut être mesuré.