Capacité parasite de la source est généralement mesuré à l'aide de Microfarad par millimètre carré[μF/mm²] pour Capacité d'oxyde par unité de surface. Farad par mètre carré[μF/mm²], Nanofarad par centimètre carré[μF/mm²], Microfarad par centimètre carré[μF/mm²] sont les quelques autres unités dans lesquelles Capacité parasite de la source peut être mesuré.