La capacité du substrat, également connue sous le nom de capacité parasite du substrat, fait référence à la capacité qui existe entre les éléments conducteurs d’un circuit intégré. Et est désigné par Cs. Capacité du substrat est généralement mesuré à l'aide du Farad pour Capacitance. Notez que la valeur de Capacité du substrat est toujours négatif.