Capacité d'oxyde par unité de surface est généralement mesuré à l'aide de Microfarad par centimètre carré[μF/cm²] pour Capacité d'oxyde par unité de surface. Farad par mètre carré[μF/cm²], Nanofarad par centimètre carré[μF/cm²], Microfarad par millimètre carré[μF/cm²] sont les quelques autres unités dans lesquelles Capacité d'oxyde par unité de surface peut être mesuré.