Capacité d'oxyde est généralement mesuré à l'aide de Farad par mètre carré[F/m²] pour Capacité d'oxyde par unité de surface. Nanofarad par centimètre carré[F/m²], Microfarad par centimètre carré[F/m²], Microfarad par millimètre carré[F/m²] sont les quelques autres unités dans lesquelles Capacité d'oxyde peut être mesuré.