Capacité de la couche d'oxyde de grille est généralement mesuré à l'aide de Microfarad par millimètre carré[μF/mm²] pour Capacité d'oxyde par unité de surface. Farad par mètre carré[μF/mm²], Nanofarad par centimètre carré[μF/mm²], Microfarad par centimètre carré[μF/mm²] sont les quelques autres unités dans lesquelles Capacité de la couche d'oxyde de grille peut être mesuré.