Profundidad de unión después de la escala completa en Fabricación de VLSI Fórmulas

La profundidad de unión después del escalado completo se define como la distancia desde la superficie hasta el punto donde se produce un cambio en la concentración de átomos dopantes después del escalado completo. Y se indica con x_j'. Profundidad de unión después de la escala completa generalmente se mide usando Micrómetro para Longitud. Tenga en cuenta que el valor de Profundidad de unión después de la escala completa es siempre positivo.