Longitud de onda en fotolitografía en Circuitos integrados (CI) Fórmulas

La longitud de onda en fotolitografía se refiere al rango específico de radiación electromagnética empleada para modelar obleas semiconductoras durante el proceso de fabricación de semiconductores. Y se indica con λ_l. Longitud de onda en fotolitografía generalmente se mide usando nanómetro para Longitud de onda. Tenga en cuenta que el valor de Longitud de onda en fotolitografía es siempre positivo.