Espesor del óxido de puerta después del escalado completo en Fabricación de VLSI Fórmulas

El espesor del óxido de la puerta después del escalado completo se define como el nuevo espesor de la capa de óxido después de reducir las dimensiones del transistor manteniendo constante el campo eléctrico. Y se indica con t_ox'. Espesor del óxido de puerta después del escalado completo generalmente se mide usando nanómetro para Longitud. Tenga en cuenta que el valor de Espesor del óxido de puerta después del escalado completo es siempre positivo.