El espesor del óxido se refiere al espesor de una capa delgada de material de óxido que se forma en la superficie de un sustrato, generalmente un material semiconductor como el silicio. Y se indica con tox. Espesor de óxido generalmente se mide usando Micrómetro para Longitud. Tenga en cuenta que el valor de Espesor de óxido es siempre negativo.