Capacitancia parásita de fuente generalmente se mide usando Microfaradio por milímetro cuadrado[μF/mm²] para Capacitancia de óxido por unidad de área. Farad por metro cuadrado[μF/mm²], Nanofaradio por centímetro cuadrado[μF/mm²], Microfaradio por centímetro cuadrado[μF/mm²] son las pocas otras unidades en las que se puede medir Capacitancia parásita de fuente.