Capacitancia de óxido por unidad de área generalmente se mide usando Microfaradio por centímetro cuadrado[μF/cm²] para Capacitancia de óxido por unidad de área. Farad por metro cuadrado[μF/cm²], Nanofaradio por centímetro cuadrado[μF/cm²], Microfaradio por milímetro cuadrado[μF/cm²] son las pocas otras unidades en las que se puede medir Capacitancia de óxido por unidad de área.