Capacitancia de óxido generalmente se mide usando Farad por metro cuadrado[F/m²] para Capacitancia de óxido por unidad de área. Nanofaradio por centímetro cuadrado[F/m²], Microfaradio por centímetro cuadrado[F/m²], Microfaradio por milímetro cuadrado[F/m²] son las pocas otras unidades en las que se puede medir Capacitancia de óxido.