Die Fokustiefe ist ein kritischer Parameter, der die Toleranz gegenüber Abweichungen in der Höhe des Halbleiterwafers beeinflusst. Und wird durch DOF gekennzeichnet. Tiefenschärfe wird normalerweise mit Mikrometer für Wellenlänge gemessen. Beachten Sie, dass der Wert von Tiefenschärfe immer positiv ist.