Unter Substratkapazität, auch parasitäre Substratkapazität genannt, versteht man die Kapazität, die zwischen leitenden Elementen in einem integrierten Schaltkreis besteht. Und wird durch Cs gekennzeichnet. Substratkapazität wird normalerweise mit Farad für Kapazität gemessen. Beachten Sie, dass der Wert von Substratkapazität immer Negativ ist.