Die Donorkonzentration nach der vollständigen Skalierung könnte eine Überlegung darüber implizieren, wie die Konzentration der Donorverunreinigungen durch die Verkleinerung der Transistorabmessungen beeinflusst wird. Und wird durch ND' gekennzeichnet. Spenderkonzentration nach vollständiger Skalierung wird normalerweise mit 1 pro Kubikzentimeter für Trägerkonzentration gemessen. Beachten Sie, dass der Wert von Spenderkonzentration nach vollständiger Skalierung immer positiv ist.