Die Permittivität einer Oxidschicht ist definiert als die Fähigkeit einer Substanz, elektrische Energie in einem elektrischen Feld zu speichern. Und wird durch εox gekennzeichnet. Permittivität der Oxidschicht wird normalerweise mit Mikrofarad pro Millimeter für Permittivität gemessen. Beachten Sie, dass der Wert von Permittivität der Oxidschicht immer positiv ist.