Oxidkapazität pro Flächeneinheit wird normalerweise mit Mikrofarad pro Quadratzentimeter[μF/cm²] für Oxidkapazität pro Flächeneinheit gemessen. Farad pro Quadratmeter[μF/cm²], Nanofarad pro Quadratzentimeter[μF/cm²], Mikrofarad pro Quadratmillimeter[μF/cm²] sind die wenigen anderen Einheiten, in denen Oxidkapazität pro Flächeneinheit gemessen werden kann.