Unter Oxidkapazität nach Spannungsskalierung versteht man die Kapazität, die mit der Oxidschicht zwischen dem Metallgate und dem Substrat verbunden ist, nachdem das Gerät durch Spannungsskalierung verkleinert wurde. Und wird durch Cox(vs)' gekennzeichnet. Oxidkapazität nach Spannungsskalierung wird normalerweise mit Nanofarad pro Quadratzentimeter für Oxidkapazität pro Flächeneinheit gemessen. Beachten Sie, dass der Wert von Oxidkapazität nach Spannungsskalierung immer positiv ist.