Oxidkapazität wird normalerweise mit Farad pro Quadratmeter[F/m²] für Oxidkapazität pro Flächeneinheit gemessen. Nanofarad pro Quadratzentimeter[F/m²], Mikrofarad pro Quadratzentimeter[F/m²], Mikrofarad pro Quadratmillimeter[F/m²] sind die wenigen anderen Einheiten, in denen Oxidkapazität gemessen werden kann.