Die Oxidkapazität ist ein wichtiger Parameter, der die Leistung von MOS-Geräten beeinflusst, beispielsweise die Geschwindigkeit und den Stromverbrauch integrierter Schaltkreise. Und wird durch Cox gekennzeichnet. Oxidkapazität wird normalerweise mit Mikrofarad für Kapazität gemessen. Beachten Sie, dass der Wert von Oxidkapazität immer positiv ist.