Unter Oxiddicke versteht man die Dicke einer dünnen Schicht aus Oxidmaterial, die auf der Oberfläche eines Substrats gebildet wird, typischerweise einem Halbleitermaterial wie Silizium. Und wird durch tox gekennzeichnet. Oxiddicke wird normalerweise mit Mikrometer für Länge gemessen. Beachten Sie, dass der Wert von Oxiddicke immer Negativ ist.