Die Leistungsdichte nach Spannungsskalierung ist als Maß für die Leistungsabgabe pro Flächeneinheit definiert. Es quantifiziert die Leistungsverteilung innerhalb eines bestimmten Raums, wenn der MOSFET durch die Spannungsskalierungsmethode verkleinert wird. Und wird durch PD' gekennzeichnet.