Kapazität der Gate-Oxidschicht wird normalerweise mit Mikrofarad pro Quadratmillimeter[μF/mm²] für Oxidkapazität pro Flächeneinheit gemessen. Farad pro Quadratmeter[μF/mm²], Nanofarad pro Quadratzentimeter[μF/mm²], Mikrofarad pro Quadratzentimeter[μF/mm²] sind die wenigen anderen Einheiten, in denen Kapazität der Gate-Oxidschicht gemessen werden kann.